随着技术的不断发展,除了固体预粒污染物外,化学气体(AMC)对微电子洁净室的影响越来越大。在晶圆、LCD、OLED等各个生产领域,化学气AMC已经成为生产中至关量要的影响因素,(AMC)污染易造成半导体层间结合失效、HEPA降解排杂物的进入、高接触电阻、T-Topping 现象、光学镜头雾状缺陷,以及玻璃表面污染等问题。因此,AMC的控制要求也提高到了ppt的级别。
LTM为改鲁洁净室内AMC化学气体污染,提出了“监控检测”、“现场治理”、“持续提高”的综合解决办法。产品与服务相配套,确保洁净室内空气质量。
在实验室的使用中,会使用或者产生各种各祥的有毒有害气体,如S02, Cb, NH3、 甲酷VOE等, 这些气体的泄漏或者直排,会对人体、环境等造成无法预计的损失, 因此, 必须对这些气体进行控制。
TIME:2022-04-29石油生产企业、发电企业、煤气化企业、化工厂等各种企业在生产过程中,都会产生大景的废气,在环境污染日益严重的今天,环境保护成为了置中之里。
TIME:2022-04-29汽车尾气和丁业废气的排放、室内装饰品蚧 消洁剂散发出的挥发性有机化合物, 空气中的生物污染物如花粉、 病毒等,不良通风系统等,造成室内空气 日益恶劣. 人长期呆在空气恶劣的室内, 会经常出现以下典型症状:疲乏、头晕、呼吸不畅、咽干喉疼等. 1980年,世界卫生组织正式将此类因空洞新风不足导 致的疾病定名 "病态建筑综合症" , 俗称 “空调病" 。
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